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姓名	鍾佑平(Yu-Ping Chung)  查詢紙本館藏	畢業系所	機械工程學系在職專班
論文名稱	大世代黃光製程設備－ 狹縫式塗佈機振動量測與分析 (New Generation Photolithography Process Equipment -Slit Coater Vibration Measurement and Analysis)
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摘要(中)	本研究的主要目的為探討國人自行設計、研發、組裝和製造的大世代黃光製程設備-狹縫式塗佈機，在塗佈過程中龍門結構與塗刀間的振動關係。本文係利用加速規及四通道頻譜分析擷取卡來收集在各種狀態下的龍門架構振動狀況。並藉由MATLAB軟體將訊號傅立葉轉換為頻域後討論其特徵頻率與結構運動狀態之間的關係。 由實驗規劃中的空跑、塗佈、靜止激磁、靜止關電等四種狀態，做一系列的交叉比較後，找出環境帶給系統的頻率為20Hz，不同塗佈速度產生的頻率為15Hz及25Hz、結構的倍頻為125Hz及250Hz、不同架構對於振動傳遞的現象…等對於設備的細節，能夠更加理解整體設備在工作時的狀態，藉此找出龍門架構存在的問題並給予未來研究驗證及設計改善的方向與建議。
摘要(英)	The main purpose of this study is to explore the vibration characteristics of the gantry structure for slot die coating process. This new generation of lithography process equipment was entirely designed, developed, assembled and manufactured by the company. This research used accelerometers and a four-channel spectrum analysis acquisition unit to collect various vibration statues of the gantry structure. Then, a MATLAB program for Fast Fourier Transform (FFT) was used to convert time domain data to the frequency domain data. Vibration of four situations, test run, coating, idle-power on and shutdown (no power), were measured and analyzed. The relationship between the characteristic frequencies and the structural motion were discussed.
關鍵字(中)	★ 狹縫式塗佈機 ★ 龍門架構 ★ 振動分析	關鍵字(英)
論文目次	摘要 I ABSTRACT II 誌謝 III 目錄 IV 表索引 VII 圖索引 VII 符號說明 X 第一章 緒論 1 1.1研究動機與目的 1 1.2 文獻回顧 1 1.3 本文架構 3 第二章 振動學基礎理論 5 2.1 單自由度系統 5 2.1.1 單自由度無阻尼系統 5 2.1.2 單自由度黏滯阻尼系統 7 2.2 多自由度系統 13 2.2.1 多自由度無阻尼自由振動系統 14 2.2.2 多自由度有阻尼強制振動系統 15 第三章 訊號處理基礎理論 22 3.1 取樣定理 22 3.2 傅立葉轉換 24 3.3 快速傅立葉轉換 27 3.4 頻率響應函數 29 第四章 塗佈機簡介與振動量測實驗架構 30 4.1 黃光製程簡介 31 4.2 塗佈機結構總成介紹 33 4.3 塗佈動作與實際塗佈能力 35 4.3.1 塗佈流程與動作 35 4.3.2塗佈規格及能力介紹 36 4.4 實驗器材介紹 37 4.4.1訊號擷取卡規格簡介 38 4.4.2加速規規格簡介 39 4.4.3 MATLAB傅立葉轉換程式撰寫 40 4.5 測量點規劃 41 第五章結果分析與討論 46 5.1空跑狀態下各量測點的結果 46 5.1.1 C1-空跑測試-龍門穩速移動A、B、C點測試結果 48 5.1.2 C2-空跑測試-龍門穩速移動D、E點量測結果 51 5.1.3 C10-空跑測試-龍門穩速移動F、G、H點量測結果 53 5.2 靜止的狀態下各量測點的結果 55 5.2.1 C7-靜止測試-龍門靜止激磁A、B、C點量測結果 56 5.2.2 C8-靜止測試-龍門靜止D、E點量測結果 58 5.2.3 C9-靜止測試-龍門靜止F、G、H點量測結果 60 5.3 關電狀態下各量測點的結果 62 5.4塗佈狀態下塗刀實際振動的結果 64 5.4.1 C4塗佈穩速80mm/s-塗刀YZ方向F、A點量測結果 65 5.4.2 C3塗佈穩速60mm/s-塗刀YZ方向A、F點量測結果 67 5.4.3 C5塗佈穩速100mm/s-塗刀YZ方向F、A點量測結果 69 第六章 結論與未來展望 70 6.1 結論 70 6.2 未來研究方向 72 參考文獻 73
參考文獻	[1] 林于智, 民國96年,“精密條紋式塗佈工程之研究”,國立清華大學化學工程碩士論文. [2] 馮輝賢, 民國99年,“彩色濾光片光阻塗佈製程參數最佳化研究”,中華大學機械工程碩士論文. [3] 王栢村著, 民國91年,“振動學”,二版,全華科技圖書股份有限公司. [4] 徐業良著, 民國104年,”機械設計”,二版,滄海圖書,台中市,。 [5] 劉嘉俊、盧博堅編著, 民國108 ,“噪音控制與防制”,二版,滄海圖書,台中市. [6] 陳彥仲, 民國94年,“液晶電視前框動態分析與結構改善”,國立中央大學機械工程碩士論文. [7] Starosvetsky,Y. and Gendelman, O.V. , 2009 ,“Vibration Absorption in Systems with a Nonlinear Energy Sink: Nonlinear Damping”,Journal of Sound and Vibration, Vol 324, pp. 916-939 [8] Hashad,A., 2018 ,“Using Dynamic Analysis of Site Vibration to Select the Suitable Vibration Limit ”, HBRC Journal, Vol 14, pp. 180-188.. [9] Ding,J.J., Tseng,C.J., Hu,C.M., and Hsien,T., 2011,”Improved Onset Detection Algorithm Based on Fractional Power Envelope Match Filter”, 19th European Signal Processing Conference, Barcelona, Spain. [10] Hans,K.H. ,Henrik,H., Brüel and Kjær, Nærum, and Denmark,2010, “Envelope and Cepstrum Analyses for Machinery Fault Identification”, SOUND & VIBRATION, pp. 10-12 [11] 姚維翰, 民國100年,“無鐵心線性永磁同步馬達驅動系統之設計與控制”,國立中央大學機械工程博士論文. [12] 廖家賢, 民國97年,“在伺服系統中摩擦力控制與補償之研究”,國立中央大學機械工程博士論文. [13] 簡汶昇, 民國99年,“使用線性馬達研製長行程氣浮式奈米定位平台之精密定位研究”,國立台灣科技大學機械工程碩士論文. [14] 林玠虢, 民國103年,“高精密度雙軸鐵心式永磁同步伺服線性馬達定位平台之控制器設計與性能分析”,國立臺灣師範大學機械工程碩士論文. [15] Wang,W., Zhou,Y., Wang,H. , Li,C., and Zhang,Y., 2019,” Vibration Analysis of a Coupled Feed System with Nonlinear Kinematic Joints”, Mechanism and Machine Theory, Vol 134, pp. 562-581,. [16] Karikita,I., Hirokazu,M., 2007,“Precise Velocity Control of the Air Floating Gantry Type Precision Stage with the Acceleration Feedback Compensation”, TENCON 2006 - 2006 IEEE Region 10 Conference, Hong Kong, China [17] 世界材料網：淺談軟性顯示器所需之相關製程塗佈技術。2009年12月24日，取自https://www.materialsnet.com.tw/DocView.aspx?id=8266。 [18] 中華映管：TFT-LCD製程介紹。2016年11月22日，取自http://www.cptt.com.tw/cptclub/0412.htm。 [19] 柯啟智著,“振動感測實務簡介”,基太克國際股份有限公司。 [20] 魏大鈞,“感測器量測基本概念系列：聲音與振動量測”, National Instrument感測器量測基本概念網路研討會。
指導教授	黃以玫	審核日期	2019-8-15
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